PROSES PEMBUATAN LAPISAN TIPIS Si/SiB/SiP/Au UNTUK KOMPONEN UTAMA DETEKTOR NUKLIR SURFACE BARRIER
Paten
PROSES PEMBUATAN LAPISAN TIPIS Si/SiB/SiP/Au UNTUK KOMPONEN UTAMA DETEKTOR NUKLIR SURFACE BARRIER
-
P00201201103
30 November 2012
2012
MIG-2012-1650217203.1419
-
Pusat Sains dan Teknologi Akselerator
Badan Tenaga Nuklir Nasional (BATAN)
P
-
0
-
-
-
0
13 September 2017
IDP000047788
Prof. Tri Mardji ;