Lapisan Anti Refleksi Untuk Sel Surya Berbahan Dasar TiO2-SiO2 Dan Proses Pembuatannya
Paten
Lapisan Anti Refleksi Untuk Sel Surya Berbahan Dasar TiO2-SiO2 Dan Proses Pembuatannya
Invensi ini berkaitan dengan suatu lapisan refleksi untuk sel surya berbahan dasar titanium dioksida dan silikon dioksida dan proses pembuatannya, dimana untuk membuat lapisannya menggunakan metode pulsed laser deposition (PLD). Tahapan pembuatannya adalah: pembuatan pellet TiO2 dan Si02; melakukan iradiasi laser terhadap pellet Ti02; mendeposisi hasil iradiasi TiO2 pada substrat Si wafer; melakukan iradiasi laser terhadap pellet Si02; dan mendeposisi hasil iradiasi Si02 pada substrat Si wafer. Hasil proses tersebut adalah lapisan anti refleksi dengan nilai anti reflectif coating (ARC) sebesar 14,11%.
P00201810158
07 Desember 2018
2018
MIG-2018-1650216320.8689
-
Pusat Penelitian Fisika
Lembaga Ilmu Pengetahuan Indonesia
P
Material Maju
2
-
-
-
0
-
-
Affi Nur Hidayah ; Isnaeni ; Maria Margaretha Suliyanti ; Nurfina Yudasari ; Suryadi ; Yuliati Herbani ; Kirana Yuniati Putri ; Muhandis Shiddiq ; Eframoktora Rievera Gianni Nelwan ;