Sensor Optik dengan Struktur Resonator Cincin Optik Lintas-Jamak Pada Substrat Silicon-On-Insulator
Paten
Sensor Optik dengan Struktur Resonator Cincin Optik Lintas-Jamak Pada Substrat Silicon-On-Insulator
Invensi ini berupa suatu sensor optik berbasis media pandu dengan perwujudan terdiri dari suatu pandu gelombang optik yang dipasang pada substrat Silicon-On-Insulator dengan struktur resonator cincin optik lintas jamak yang dicirikan dengan adanya sepasang lempeng sejajar yang di antaranya terdapat 2 cincin konsentris berbeda ukuran yang memanfaatkan efek Vernier untuk mendapatkan sensitivitas yang tinggi.
P00201911675
12 Desember 2019
2019
MIG-2019-1650216335.4679
-
Pusat Penelitian Elektronika dan Telekomunikasi
Lembaga Ilmu Pengetahuan Indonesia
Paten
Optik dan Sensor
7
G01N 21/00, G01N 21/41
Ir. Endang Yuliawan
-
0
-
-
Dadin Mahmudin ; Deni Permana Kurniadi ; Gandi Sugandi ; Prasetyo Putranto ; Robeth Viktoria Manurung ; Sulistyaningsih ; Taufiqqurrachman ; Yusuf Nur Wijayanto ; Sri Hardiati ; Winy Desvasari ;