ALAT SUMBER ION TIPE KATODE PANAS UNTUK CUPLIKAN BAHAN PADAT
Paten
ALAT SUMBER ION TIPE KATODE PANAS UNTUK CUPLIKAN BAHAN PADAT
Invensi ini berkaitan dengan alat sumber ion tipe katoda panas untuk cuplikan bahan padat yang akan dipasang pada alat implantor ion. Dalam mesin implantor ion, sumber ion digunakan untuk menghasilkan berkas ion dari cuplikan padat yang akan diimplantasikan pada suatu material. Bagian-bagian sumber ion tipe katoda panas untuk cuplikan padat terdiri dari celah sebagai ekstraktor (1), anoda (2), filamen pemanas (3), feedthrough (4), filamen pengion (5), magnet (6), pendorong (7) dan flange (8). Filamen pengion dan filamen pemanas pada sumber ion ini disusun terpisah sehingga pengendalian kedua filamen tersebut dapat dilakukan secara terpisah. Alat sumber ion tipe tersebut diharapkan dapat dipergunakan untuk jenis bahan dopant yang lebih beragam, seperti ytrium, cerium, titanium, lanthanium dan magnesium.
P00201000460
23 Juli 2010
2010
MIG-2010-1650217202.5565
-
Pusat Sains dan Teknologi Akselerator
Badan Tenaga Nuklir Nasional (BATAN)
Paten
Nanoteknologi
2
H01J 7/24
Ir. Kemisno
-
0
09 Oktober 2013
IDP000034727
Drs. Tjipto Sujitno MT ; dkk ;