METODE PEMBUATAN LAPISAN TIPIS Ti3C2Tx BERORIENTASI VERTIKAL DAN PRODUK YANG DIHASILKANNYA
Paten
METODE PEMBUATAN LAPISAN TIPIS Ti3C2Tx BERORIENTASI VERTIKAL DAN PRODUK YANG DIHASILKANNYA
Invensi ini mengungkap mengenai metode pembuatan lapisan tipis Ti3C2Tx berorientasi vertikal yang digunakan untuk sensor gas NO2 beserta karakter produk yang dihasilkannya. Metode pembuatan dalam invensi ini terdiri dari 3 tahap utama yaitu pertama tahap pembuatan larutan Ti3C2Tx dengan menggunakan metode etching Al selektif, lalu dilanjutkan dengan tahap pembuatan lapisan tipis Ti3C2Tx dengan metode deposisi elektroforesis. Tahap selanjutnya adalah tahap pembekuan dan pengeringan, sehngga pada akhirnya didapat Ti3C2Tx yang berorientasi vertikal yang menempel pada substrat stainless steel. Lapisan tipis Ti3C2Tx berorientasi vertikal yang digunakan untuk sensor gas NO2, memiliki karakter yaitu memiliki ketebalan lapisan tipis sebesar 150-250 μm dan memiliki nilai sensitivitas sebesar 28-30 pada konsentrasi gas NO2 sebesar 50 ppm. Lapisan tipis Ti3C2Tx sesuai invensi ini memiliki sensitivitas terhadap gas NO2 2,8 kali lebih tinggi dibandingkan serbuk Ti3C2Tx sehingga lebih akurat diaplikasikan dalam pengendalian polusi udara.
P00202311353
31 Oktober 2023
2023
2023-1695346235-azar
-
Pusat Riset Material Maju
angga.hermawan@brin.go.id
Badan Riset dan Inovasi Nasional
Paten Biasa
Metallurgi
3
Int.Cl./undefined
0
-
- Angga Hermawan
( Pusat Riset Material Maju ) - Ni Luh Wulan Septiani
( Pusat Riset Material Maju ) - Muqoyyanah
( Pusat Riset Material Maju ) - Riesca Ayu Kusuma Wardhani
( Pusat Riset Material Maju ) - Yahdi Bin Rus
( Pusat Riset Material Maju )
- Tahta Amrillah
( Universitas Airlangga )